光刻机唯一上市公司叫什么名字

上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、PowerDevices等制造领域。公司发展历史进程：2002.03上海微电子装备有限公司在张江高科技园区正式成立。2006.04光刻机产品注册商标获得